静电 静电防护管理规范最新版

本：V3.0生效日期：2013-03-20 文件名：静电防护管理规范 文件编号： 文件修订履历版次 V0 V1 V1.1 V1.2 V1.3 V2 V2.1 V2.2V2.3 V2.4 V2.5 V2.6 V3.0 文件名：静电防护管理规范文件编号： 目的防止静电对静电敏感器件造成早期损坏或缩短使用寿命；使ESD 防护工作具有较强的可操作性。 适用范围从静电敏感器件进货到产品形成的全过程 定义3．1 静电放电（ESD） 处于不同电位的两个物体之间，由于直接接触或者电场感应导致的电荷传输。 3．2 静电敏感器件（ESDS） 在常规处理、测试或运输中可能会受到静电场或者静电放电损害的分立器件、集成电路或组件。 3．3 静电的发生及带电 3．3．1 静电的定义：物质是由分子组成，分子是由原子组成，原子是构成一切化学元素的最小微粒， 由带正电的原子核和带负电的围绕原子核旋转的电子组成。在正常状况下，原子所带的正负电荷相等， 所以对外表现出电中性。但是在某种条件下，当物质原子中的这种电平衡状态被打破，丢失或获得电子， 物质即由电中性状态改变为带电状态。丢失电子，则表现为带正电；获得电子，则表现为带负电。

这种 物体表面所带过剩或不足的相对静止不动电荷，称之为静电。 3．3．2 静电的产生：静电的产生有多种，这里主要讲述与电子制程紧密相关的接触起电、感应起电、 剥离起电、摩擦起电；其它如：粉体带电、液体静电、气体带电、飞沫带电、喷出带电在此不进行讲述。 3．3．2．1 接触起电：当两种物质接触时，其间距小于2.510 -8 cm 时在其间即发生电子的转移，界面 两侧出现大小相等，符号相反的两种电荷 3．3．2．2 感应起电：它是导体在外部静电场作用下，在不同部位表面感应出不同符号的电荷 3．3．2．3 剥离起电：两个接触非常紧密的物质，在外力作用下突然分开，由于剥离的原因使物体带电 3．3．2．4 摩擦起电：由于摩擦生热，热使离子（电子）的活性增加，容易向其他物体转移 3．3．3 静电的危害 3．3．3.1 对人体产生电击：带了电的人体接近接地体时，会由于静电放电产生的瞬间冲击电流流过人 体某一部位而引起电击。或者是原来不带电的人体接近一个带电物体时，带电物体对人体放电而引起的 电击。 3．3．3.2 对电子组件的损坏：对组件的损坏大体可分为两种失效模式：一、突发性完全失效即一次性 击穿、烧毁，产品在拿取、传递、作业时由于静电放电造成的产品完全破坏，永久失效；二、潜在性缓 文件名：静电防护管理规范 文件编号： 慢失效即静电放电使产品造成毫无规律可循的潜在性失效，导致其可靠性下降。

3．4 绝缘体与导体 3．4.1 绝缘体 绝缘体具有大表面电阻率，一般大于或等于10 11 。产生静电时即使接地电荷也不会泄放到大地静电，物体仍处于带电状态。 如：普通塑料制品、乙烯等 3．4．2 导静电体 导体一般表面电阻率10 范围，电荷具有良好的流动性，进行接地电荷会大量流向大地，造成大电流而损坏电子元器件或击伤人体。 3．5 防静电材料定义 3.5.1 根据防静电材料的导电性能，可分为静电绝缘、耗散、导电、屏蔽四种。 静电绝缘材料：表面电阻率10 11 和＜1011 3.5.2ESD 防护项目的表面电阻的要求 工作表面、存放架、电动车、手推车、周转箱、物料盒、周转架、地板、服装、鞋子、椅子等表 面电阻为10 1010 R＜1011 3．6静电发生源 3．6．1 人：人是最大的静电发生源。人在作业过程中的任何操作都可能使人的皮肤、头发、衣服等带 上静电。 3．6．2 环境：地板、工作台面、仪器设备等都是静电发生源。 3．6．3 材料：生产中的一些原材料、生产辅助材料、包装材料等也可能是静电发生源。 常见物体的静电发生序列文件名：静电防护管理规范 文件编号： 3．7漏电 测试工具如电批、电视机、功放、示波器；由于使用 220V 电进行供电，会产生对地的漏电；漏电 电压较低，不会超出供电电压；不会像静电那样具有几千伏的电压；但漏电电流较强静电，进行可靠设备接 地后要求漏电电压AC 小于1V。

3．8 电子元器件的静电耐压 一些器件类型的静电敏感电压值器件类型 耐静电放电电压（V） 器件类型 耐静电放电电压（V） VMOS 30-1800 运算放电器 190-2500 MOSSEFT 100-200 JEFT 140-1000 PROM 100 STTL 300-2500 GaAsFET 100-300 SCL 680-1000 CMOS 250-2000 DTL 380-7000 HMOS 50-500 肖特基二极管 300-3000 E/DMOS 200-1000 双极型晶体管 380-7000 ECL 300-2500 石英压电晶体器件

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